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JS-1600真空溅射镀膜机

JS-1600 Sputter Coating Machine

JS-1600是我司开发的一款磁控溅射镀膜设备,该设备成膜速率高,TiO2速率可达0.3nm/s以上,SiO2速率可达1.0nm/s以上,适用于在玻璃、树脂、陶瓷、金属等各类材质表面上镀制AR膜、分光膜、滤光膜、高反膜等各类薄膜。配合我司自主开发的自动上料系统,实现了镀膜作业的全自动化。

该设备采用了以Microsoft Windows为OS的工业控制系统,镀膜全过程自动化,全过程监控记录镀膜数据。

产品详细信息

STAR-1100AR(图1)